經(jīng)過國(guó)內(nèi)廠家多年的追趕,我國(guó)集成電路關(guān)鍵裝備已形成一定的支撐能力,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備已完成從“從0到1”的突破。
由于供不應(yīng)求,自2020年底以來,半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)能持續(xù)緊張,導(dǎo)致制造、封測(cè)價(jià)格上漲,芯片交付周期延長(zhǎng)。在產(chǎn)能短缺的背景下,半導(dǎo)體行業(yè)預(yù)計(jì)將大規(guī)模擴(kuò)大生產(chǎn),推動(dòng)對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備的強(qiáng)勁需求。另一方面,半導(dǎo)體設(shè)備的進(jìn)口一直受到限制,因此國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的替代前景非常廣闊。
超純水設(shè)備成為半導(dǎo)體行業(yè)重要推動(dòng)力
半導(dǎo)體的制造是在一級(jí)潔凈度(每立方英尺的空氣中只能有一粒直徑小于0.3微米的灰塵)的環(huán)境中進(jìn)行的,這表明了半導(dǎo)體元件在生產(chǎn)過程中對(duì)潔凈度的要求有多嚴(yán)格。在芯片生產(chǎn)過程中,影響其品質(zhì)的不止有空氣,還有水質(zhì)。因此,在大力發(fā)展半導(dǎo)體的同時(shí),我國(guó)對(duì)其水質(zhì)也提出了更高的要求??梢哉f,超純水設(shè)備已成為半導(dǎo)體行業(yè)的重要驅(qū)動(dòng)力。
超純水的生產(chǎn)流程是怎樣的?
自來水進(jìn)入原水箱,通過原水泵增壓,經(jīng)砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器,到達(dá)反滲透單元,經(jīng)兩級(jí)反滲透過濾進(jìn)入EDI單元,拋光混床單元,EDI出水進(jìn)入純水水箱,此時(shí)水質(zhì)的電阻率是15兆歐,經(jīng)過拋光混床后,產(chǎn)水電阻率達(dá)到18兆歐,但是不進(jìn)入水箱,直接進(jìn)入用水點(diǎn)。因?yàn)樗渲腥舫霈F(xiàn)產(chǎn)水滯留,會(huì)影響產(chǎn)水水質(zhì)。純水供水設(shè)計(jì)為循環(huán)方式,經(jīng)純水供水泵增壓,通過紫外線消毒器、拋光混床接入純水供水管,到達(dá)使用點(diǎn)。
超純水設(shè)備作為半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)的重要基石,萊特萊德超純水設(shè)備改進(jìn)了傳統(tǒng)工藝階段供水的缺點(diǎn),配備了專業(yè)的濃水置換技術(shù),防止膜系統(tǒng)受到微生物污染。通過完善的技術(shù),提高系統(tǒng)回收率,降低能耗和運(yùn)行成本。能有效去除水中的雜質(zhì)、重金屬離子、細(xì)菌等有害物質(zhì),實(shí)現(xiàn)超純水的大量連續(xù)供應(yīng)。可滿足芯片生產(chǎn)用水的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),降低企業(yè)生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)和成本。
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